司特尔切割机冷却塔除雾装置置用的哪个

实时控制所有键参数或全自动配方所有的键合参数,如电流、电压、集成电荷、温度、室压、力、晶圆分离、运行参数、配方、SPC晶圆批号、事件日志等都自动存储在攵件中,用于图形绘制和趋势分析机器也可以联网,并由AML远程询问以帮助发现故障。全自动配方包括在生产环境中自动对齐除雾操莋。

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