高真空蒸发镀膜实验镀膜机蒸发时回气大,怎么解决。是扩散泵问题吗?

真空蒸发镀膜原理_中国百科网
真空蒸发镀膜原理
    
凝结其上而成膜。 为了提高蒸发分子与基片的附着力,对基片进行适当的加热或离子清洗使其活化是必要的。 真空蒸发镀膜从物料蒸发运输到沉积成膜,经历的物理过程如下: 1、采用各种能源方式转换成热能,加热膜材使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1...
温度较低,便凝结其上而成膜。其原理如图1 所示。   1.基片加热器;2.真空室;3.基片架;4.基片;5.膜材;6.蒸发舟;7.蒸发热源;8.排气口;9.密封圈;10.挡板;11.膜材蒸汽流   图1 真空蒸发镀膜原理图   为了提高蒸发...
9%,因此,蒸发粒子的平均自由程必须远远大于蒸距才能避免蒸发粒子在向基片迁移过程中与残余气体分子发生碰撞,从而有效地减少蒸发粒子的散射现象。目前常用的蒸发镀膜机的蒸距均不大于50 cm。因此,如果要防止蒸发粒子的大量散射,在真空蒸发镀膜设备...
凝汽器铜管硫酸亚铁镀膜原理与实践   摘要:凝汽器铜管的腐蚀、泄漏是危及火力发电机组安全稳定运行的一大难题 ,硫酸亚铁成膜是防止凝汽器铜管腐蚀的有效方法 ,文中介绍了硫酸亚铁成膜的原理及实践应用情况。 1 2 ...
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真空镀膜机扩散泵维修与保养
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&&& 扩散泵是的主要部件,为机器能运作在最佳状态,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。接下来由东莞爱加真空科技有限公司的高级工程师与大家分享真空镀膜机扩散泵维修与保养。
1,扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2,扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
3,被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4,扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5,扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丙酮进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
6,待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
7,在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态
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真空镀膜机达不到高真空怎么回事
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