详解10nm FinFET技术结构化思维的基本原理原理都是什么鬼

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10nm FinFET工艺 骁龙830处理器首曝
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  对于高通来说,2015年因为骁龙810处理器而变得与众不同,由该处理器的发热问题所引发的一些列问题都成为网友关注的焦点,而高通方面也早以决 定通过全新制程工艺的骁龙820处理器来一雪前耻。然而,骁龙820都还没有正式发布,关于骁龙830的消息却已经泄露了出来。据称,骁龙830将会采用 10nm FinFET工艺。
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  昨日,有消息人士在微博上发布消息称,骁龙820下一代旗舰处理器骁龙830型号是MSM8998,依然是自主架构,或搭载10nm工艺。
  根据此前的消息,骁龙820处理器将会采用高通自家的四核Kyro架构,并采用14nm FinFET工艺,具体量产时间大概在2016年3月份左右。从这一点来判断,骁龙830的商用时间至少应该会是2016年年底。
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  尽管该消息称骁龙830将会采用更为先进的10nm工艺,但从现实的角度来看,骁龙820仍会是未来一年时间内的主角。有消息称,小米、锤子以及乐视等品牌的下一代旗舰机型都有望搭载骁龙820处理器,只是不知道哪一家厂商会抢到骁龙820的首发呢?
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骁龙820三星14/10nm工艺齐上阵 苹果困扰是否重演?
据最新的消息,虽然高通一开始计划使用三星14nm FinFET制程工艺来制造骁龙820,但可能最终还会推出另一个采用10nm FinFET制程的版本。今年年初三星曾宣布10nm FinFET制程工艺的相关参数已经确定,并将于今年年底开始试产,大规模量产则要等到明年年底。
  &根据之前的消息,骁龙820将采用三星14nm
FinFET制程工艺,来实现功耗发热和性能之间的平衡。目前三星14nm FinFET制程已经比较成熟,并且已经应用在了Exynos 7420处理器中。虽然是高通目前的旗舰处理器,不过骁龙810因为发热问题可谓饱受诟病,而在这种情况之下,高通下一代旗舰处理器骁龙820也更加令人关注。  但根据最新的消息,虽然高通一开始计划使用三星14nm FinFET制程工艺来制造骁龙820,但可能最终还会推出另一个采用10nm FinFET制程的版本。今年年初三星曾宣布10nm FinFET制程工艺的相关参数已经确定,并将于今年年底开始试产,大规模量产则要等到明年年底。而考虑到骁龙820将会在今年年底至明年年初进入大规模生产阶段,因此采用10nm FinFET制程工艺并不是没有可能。  不过值得一提的是14nm FinFET和10nm FinFET的分别使用的是LPE和LPP版本,分别代表Low Power Early和Laser-Produced Plasma。其中LPE为早期版本,功耗和封装面积都有进步,但相对不成熟,而LPP则是的升级版,性能更加出色。由于三星14nm FinFET工艺已经成熟,而10nm FinFET工艺还有待进步,因此采用14nm FinFET LPP搭配10nm FinFET LPE的策略也比较合理。    而高通方面并没有透露多少关于的详细信息,只是宣布骁龙820将采用非平面FinFET工艺,从目前的市场情况来看,三星14nm和10nm制程工艺以及台积电16nm制程工艺均属于此范围。  除了CPU部分之外,骁龙820还将搭载性能更强的Adreno 530 GPU以及一颗全新的DSP,并且整个反恶意软件功能。  苹果在A9处理器也上采用了台积电16nm和三星14nm两种制程工艺,引起了不小的风波,而如果高通推出两个版本的骁龙820的话,或许也会面临相当大的舆论压力。而且如果发热问题仍然不能得到很好的解决的话,骁龙820的市场处境不但不会有所改观,甚至情况还会更糟,这对手机厂商和高通来说都不是什么好事。  骁龙820还在路上,高通的下一代顶级平台骁龙830的消息就传出来了。据微博用户@i冰宇宙
爆料称,骁龙820的继任者将叫做&骁龙830&,编号为MSM8998。  目前的骁龙808、骁龙810编号分别为MSM8992、MSM8994,骁龙820则为MSM8996,骁龙830顺应为MSM8998是很自然的了,只是不知道再往后如何命名呢?看样子要开辟新的编号序列了。  据称,骁龙830仍然会采用高通自主架构,或许是骁龙820 Kyro的升级版本,而制造工艺有望升级到10nm。  骁龙820目前采用三星14nm LPP工艺制造,而高通已经开展了三星下代10nm LPE工艺的相关工作,看来就用它了。  三星方面已在两三个月前将10nm FinFET工艺正式加入路线图,但未透露何时量产,估计最快也得明年下半年了,正好赶上骁龙830。
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FinFET工艺之后 晶体管技术何去何从?
[导读]大量的金钱和精力都花在探索FinFET工艺,它会持续多久和为什么要替代他们?在近期内,从先进的芯片工艺路线图中看已经相当清楚。芯片会基于今天的FinFET工艺技术或者另一种FDSOI工艺的平面技术,有望可缩小到10nm节点
大量的金钱和精力都花在探索FinFET工艺,它会持续多久和为什么要替代他们?在近期内,从先进的芯片工艺路线图中看已经相当清楚。芯片会基于今天的FinFET工艺技术或者另一种FDSOI工艺的平面技术,有望可缩小到10nm节点。但是到7nm及以下时,目前的CMOS工艺路线图已经不十分清晰。半导体业已经探索了一些下一代晶体管技术的候选者。例如在7nm时,采用高迁移率的FinFET,及用III-V族元素作沟道材料来提高电荷的迁移率。然后,到5nm时,可能会有两种技术,其中一种是环栅FET,和另一种是隧道FET(TFET),它们在比较中有微弱的优势。原因都是因为最终CMOS器件的静电问题,一种是在沟道的四周围绕着栅极的结构。相比之下,TFETs是依赖陡峭的亚阈值斜率晶体管来降低功耗。这场竞赛还远未结束。显然在芯片制造商之间可能已经达成以下共识:下一代器件的结构选择,包括III-V族的FinFET;环栅的FinFET;量子阱;硅纳米线;SOIFinFET和TFET等。延伸FinFET工艺 在2014年英特尔预计将推出基于14nm工艺的第二代FinFET技术。同样在今年,格罗方德,台积电和三星也分别有计划推出他们的14nm级的第一代FinFET技术。 intel公司也正分别开发10nm的FinFET技术,然而现在的问题是产业如何延伸FinFET工艺?对于FinFET技术,IMEC的工艺技术高级副总裁,AnSteegen说,在10nm到7nm节点时栅极已经丧失沟道的控制能力。Steegen说,理想的方案是我们可以把一个单一的FinFET最大限度地降到宽度为5nm和栅极长度为10nm。 所以到7nm时,业界必须考虑一种新的技术选择。根据不同产品的路线图及行业高管的见解,主要方法是采用高迁移率或者III-V族的FinFET结构。应用材料公司蚀刻技术部的副总裁BradleyHoward说,从目前的态势,在7nm节点时III-V族沟道材料可能会插入。 在今天的硅基的FinFET结构中在7nm时电子迁移率会退化。由于锗(Ge)和III-V元素材料具有较高的电子传输能力,允许更快的开关速度。据专家说,第一个III-V族的FinFET结构可能由在pFET中的Ge组成。然后,下一代的III-V族的FinFET可能由锗构成pFET或者铟镓砷化物(InGaAs)组成NFET。 高迁移率的FinFET也面临一些挑战,包括需要具有集成不同的材料和结构的能力。为了帮助解决部分问题,行业正在开发一种硅鳍的替换工艺。这取决于你的目标,但是III-V族的FinFET将最有可能用来替代鳍的技术,Howard说。基本上,你做的是替代鳍。你要把硅鳍的周围用氧化物包围起来。这样基本上是把硅空出来用III-V族元素来替代。未来仍有很长的路要走。除此之外,还有另一条路可能采用一种垂直的芯片架构,如2.5D/3D堆叠芯片以及单片3DIC。总之,英特尔,台积电和一些其他公司,它们均认为环栅技术可能会略占上风。Intel的Mayberry说,英特尔也正在研究它,这可能是能被每个人都能接受的工艺路线图。芯片制造商可能需要开发一种以上的架构类型,因为没有一种单一的技术可为未来的应用是个理想的选择。Intel公司副总裁,元件技术和制造部主任MichaelMayberry说。这不可能是一个单一的答案,有许多不同的答案,将针对不同的细分市场。”英特尔同样也对TFET技术表示出浓厚的兴趣,尽管其他人有不同的意见。最终的赢家和输家将取决于成本,可制造性和功能性。Mayberry说,例如,最为看好的是晶体管的栅极四周被碳纳米线包围起来,但是我们不知道怎样去实现它。所以这可能不是一个最佳的选择方案,它必须要能进行量产。另一个问题是产业能否保持仍是每两年的工艺技术节点的节奏。随着越来越多的经济因素开始发挥作用,相信未来半导体业移动到下一代工艺节点的时间会减缓,甚至可能会不按70%的比例缩小,而延伸下一代的工艺节点。什么是环栅结构 在7nm以下,FinFET的结构变得有点冒险Howard说。未来有潜力的器件中会采用环栅结构,使我们有可能在7nm以下节点时再延伸几代。 然后,到5nm时,产业可能延伸采用高迁移率的FinFET。另一种选择是建立一个量子阱的FinFET器件。但是在许多场合可能是下一代的III-V族的FinFET。Howard说在量子阱的FinFET中,组成器件的一个阱把载流子限制在内。从学术的角度来看量子阱是十分有趣的。 根据IBM的说法,由于在FinFET中鳍的宽度才5nm,沟道宽度的变化可能会导致不良的VT的变化和迁移率损失。一个有前途的选择,采用环栅的FET可以规避此问题。环栅FET是一种多栅的结构,其中栅极是放置在一个沟道的四周。基本上是一个硅纳米线被栅极包围。这就是你的晶体管,它看起来不同,但实际上仍是有一个源,一个漏和一个栅极。 格罗方德的高级技术会员AnChen说采用环栅结构有一些优点和缺点,但是我认为很有前途。虽然栅极的四周有更好的静电场,但是也有一些制造工艺的问题。 环栅FET工艺制造困难,以及昂贵。它的复杂性有一例,IBM最近描述了一个用硅纳米线环栅的MOSFET,它实现了约30nm的纳米线间距和缩小的栅极间距为60nm。这个器件有一个有效的12.8nm纳米线。 在IBM的环栅极制造工艺中,两个landingpads(着陆垫)形成于基板。纳米线的形成和水平方向悬浮在着陆垫上。然后,图案化的垂直栅极在悬浮的纳米线上。这样的工艺使多个栅极构成在共同的悬浮区上。 根据IBM说,形成间隔后,然后在栅极的以外区域切断硅纳米线,再在间隔的边缘在原位进行掺杂的硅外延生长,在间隔边缘的硅纳米线其横截面就显出来。最后用传统的自对准镍基硅化物作接触和铜互连完成器件的制作。 环栅结构也有其他的作法。例如,新加坡国立大学,Soitec和法国LETI最近描述一个Ge的环栅纳米线pFET。宽度为3.5nm纳米线,该器件还与相变材料Ge2Sb2Te5(GST)集成一体,作为一个线性的stressor,从而提高它的迁移率。 与此同时,英特尔正在作不同的环栅结构。 Intel的Mayberry说,直径约6nm,我们可以做得更小些。它是由许多不同的材料作成,采用原子层精密生长在一个3D空间中。所以相当困难进行量产。这是一个尚未解决的问题,我们正在研究。
其它的选择 环栅结构不是唯一的选择。我们的工作还表明,量子阱的FinFET也有相当的静电的优势。IMEC的逻辑程序经理AaronThean说。实际上,量子阱是一种绝缘的概念,量子阱可被用来防止泄漏。 最近,IMEC,格罗方德和三星演示了一种量子阱的FinFET。它们采用鳍的替换工艺,引变材料Ge基沟道PFET。你可以作一个量子阱器件用III-V族,也可以不用锗,甚至不用硅及硅锗。 量子阱器件的另一种形式是采用FDSOI工艺,其中硅作为一个阱及氧化物作为阻挡层。IBM的顾问AliKhakifirooz说,我的观点是在7nm时仍然可在SOI上用内置形变方式形成一个Si和SiGeFinFET。 IBM也正在进行的另一种技术,称为“积极缩小的应变硅直接在绝缘体上(SSDOI)的FinFET。在这项技术中,硅片有一个键合氧化物的应变硅层。FDSOI技术据猜测可能比体硅更容易加工制造,但是衬底是更昂贵和基础设施条件还不够成熟。 事实上,每一种下一代晶体管的候选者都需有不同的平衡,作出选择是困难与复杂的。IBM的AliKhakifirooz认为我个人对III-V族作为MOSFET沟道中硅的替代材料表示极大关注。相比FinFET环栅的四周有更好的静电场。环栅极可以扩展到更短的LG沟道长度,但也有一些挑战。例如,如果环栅极是用本体硅衬底,它需要一些技巧用来隔离栅与基板,而没有电容的惩罚。 还有其他的,也许更重要的,但是要仔细权衡。事实上,许多人都在作环栅工艺。无论我们看到它在7nm或5nm生产是另外的事。你或许需要,或需并不要环栅极。我们需要对于这个问题的回答首先来自电路设计人员,然后才是技术专家。
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中关村在线消息:
很多人对于英特尔和ARM这两家公司都不会感到陌生,作为竞争对手我们很难将这两家公司联系到一起。不过近日这一切都变成了现实,在IDF&2016开发者论坛上英特尔就和ARM宣布达成了新的授权协议。
昔日对手成盟友英特尔牵手ARM(图片引自beareyes)
&&据悉两者将携手推动10nm&FinFET的发展。根据协议条款,英特尔计划允许第三方半导体公司使用其10nm生产线来制造基于ARM的智能机芯片,而英特尔也能够借助ARM的技术和自家工厂,制造出更加具有吸引力的产品。
&&而ARM方面也表示,本次合作将拓展POP至&面向移动计算应用的两大未来先进ARM&Cortex-A系列处理器核心设计,无论是ARM&big.LITTLE、还是单独的配置&。 Copyright (C) 2010 - 2015 步街网◆今日订单0◆◆◆列表◆◆◆意见反馈◆返回顶部◆}

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