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ito透明导电膜玻璃制造可行性规划方案
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ito透明导电膜玻璃制造可行性规划方案
官方公共微信一文读懂ITO导电膜玻璃
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一文读懂ITO导电膜玻璃
您是否感兴趣——（1）ITO 导电膜玻璃介绍及特性① ITO 导电膜玻璃介绍ITO 导电膜玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法沉积二氧化硅（SiO2）和氧化铟锡（通称 ITO）薄膜加工制作成的一种具有良好透明导电性能的金属化合物，具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等特性。ITO 导电膜玻璃广泛地应用于显示及触控器件、太阳能电池、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域，是目前 LCD、PDP、OLED、触摸屏等各类显示及触控器件最主要的透明导电电极材料。② ITO 导电膜玻璃特性由于 ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡，而氧化铟具有透过率高的特性，氧化锡具有导电能力强的特性。因此，ITO 导电膜玻璃是一种具有高透过率的导电玻璃。此外，由于 ITO 导电膜玻璃具有很强的吸水性，会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，产生“霉变”，因此在存放时要防潮；ITO 膜层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。另外，ITO膜层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以 ITO 导电玻璃的 ITO 膜层在 600 度以下会随着温度的升高，电阻也增大。（2）ITO 导电膜玻璃发展概述及现状从 20 世纪 50 年代到 20 世纪 70 年代，ITO 导电膜玻璃自发现以来一直处于研究的萌芽状态。20 世纪 70 年代， ITO 导电膜玻璃开始逐步应用于液晶显示领域，并实现了产业化生产，从而进入快速发展的阶段。20 世纪 80 年代，ITO导电膜玻璃主要应用于电子表、计算器、计时器等 TN-LCD。20 世纪 90 年代，ITO 导电膜玻璃开始应用于 STN-LCD，为手机、笔记本电脑、PDA 等配套。进入 21 世纪以来，随着彩屏手机和触摸屏产品的兴起，ITO 导电膜玻璃除应用于TN-LCD、STN-LCD 以外，开始应用于 OLED、触摸屏等诸多类别的产品领域。ITO 导电膜玻璃随着 20 世纪 70 年代初 LCD 显示器的兴起至今已经历了 40多年的历程，并从早期的高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了目前的低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。早期的 ITO 导电膜玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，通过氧化反应而成膜的；此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求，尤其是氧气流量的轻微波动，就可能形成氧化反应不充分，而使膜层透过率和蚀刻性能变差；或因氧气流量较大，而造成靶面“中毒”，使溅射效率下降，从而使膜层变薄、电阻升高。随着技术的不断发展，氧化靶应运而生，即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按一定比例充分混合好，再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着居民收入提升与消费升级，市场和技术方向的主流选择以及产品的进口替代和政府产业政策的推进，尤其是目前超薄智能穿戴成为市场热点，可以满足不同人群对于健康、运动、沟通、社交、等一系列个性化需求，这些趋势将共同促进智能穿戴设备市场快速增长。ITO 透明导电薄膜和导电玻璃处于整个智能穿戴设备产业链上游位置，是整个显示触控行业的关键基础材料。伴随着0.15mm~0.28mm 超薄 ITO 导电膜产品的蓬勃发展，政府也将超薄 ITO 导电膜产品作为重点工程专项扶持，一系列利好的政策支持为我国超薄 ITO 导电膜产品、平板显示及触摸屏产业的突破奠定了良好的基础，国内一些有实力的科技公司纷纷涉足 ITO 显示及触控行业，掀起一股产业投资热潮。（3）ITO 导电膜玻璃的应用① 液晶显示（LCD）用 ITO 导电膜玻璃ITO 导电膜玻璃是制作 LCD 的三大主要材料之一（另两个为液晶和偏光片）。采用 ITO 导电膜玻璃为基片材料制作的 LCD 显示器具有体积小、厚度薄、质量轻、能耗少、无污染、无辐射、无散热影响等优点，是节能、洁净的环保型电子材料产品。目前，LCD 分以下几种：TN-LCD（扭曲向列相液晶显示器），是液晶显示器的初级产品，应用于电子表、计算器、游戏机等；STN-LCD 是液晶显示器的中档产品，应用于便携式电脑、电子记事本、翻译机、电子辞典及文字处理机等；TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器），是有源矩阵寻址液晶显示器的代表，是新一代的高档 LCD 产品，已成为笔记本电脑、台式电脑、各类监视器和数字彩电等电子产品中广泛应用的液晶显示器。此外，PDP（等离子体显示器）、ECD（场致发光显示器）均属于新一代平板显示器，ITO 导电膜玻璃也是它们所需要的透明电极的最佳常用显示材料。② 触摸屏（TP）用 ITO 导电膜玻璃触摸屏（TP）用 ITO 导电膜玻璃按感应原理可以分为电阻式、电容感应式、红外线式以及表面声波式，目前市场上应用较多的以电容感应式为主。近年来，随着智能手机的普及，电容感应式触摸屏应用越来越广泛。电容感应式触摸屏在触摸屏表面镀上 ITO 导电膜，并制作成 ITO 线条，这样在导电体内形成一个低电压交流电场。在触摸屏幕时，由于人体电场，手指与导体层间会形成一个耦合电容，四边电极发出的电流会流向触点，而电流强弱与手指到电极的距离成正比，位于触摸屏幕后的控制器便会计算电流的比例及强弱，准确算出触摸点的位置。③ 有机发光显示（OLED）用导电膜玻璃有机发光显示器(OLED)是一种在电流驱动下，通过载流子注入和复合形成激子，由激子辐射衰减而发光的显示器件。它具有自主发光、视角宽、轻薄、便于携带等特点。OLED 显示器仍然需要 ITO 膜层作为透明的电极，其基本结构是在玻璃基板上镀制 ITO 膜层的基础上，再制作有机材料发光层。④ ITO 导电膜玻璃的其他领域应用ITO 导电膜玻璃作为面发热体，可制作成多种功能的特种加工玻璃，如用于飞机、火车、汽车等风挡玻璃、宇航飞船的眩窗、坦克激光测距仪、机载光学侦察仪、潜望镜观察窗等，不仅起隔热降温作用，而且通电后还可除冰霜。ITO 导电膜玻璃还可制成多种多功能的工业及科研、国防等用建筑玻璃，如液晶调光玻璃、电加热玻璃及电致变色玻璃、防盗玻璃、电磁屏蔽玻璃和大面积太阳能玻璃等。另外，由于 ITO 导电膜层对微波具有衰减性，衰减率不小于 85%；因此用 ITO 导电膜制成的电磁屏蔽玻璃，已作为特殊建筑物的窗玻璃或幕墙玻璃，可广泛用于计算机房、演播室、工业控制系统、军事建筑物、外交部门的建筑物门窗玻璃以及有保密要求或防干扰要求的场合。（4）原材料供应状况ITO 导电膜玻璃主要包括玻璃基板和靶材。① 玻璃基板玻璃基板产业是一个典型的资本和技术双密集产业，具有明显的规模效应，进入壁垒较高。ITO用玻璃基板制程条件严格，性能要求高，除不含钾、钠等碱金属外，还必须具备高精密的表面平整度与起伏度。因此，玻璃基板行业要求制作技术难度极高。从国内玻璃基板的供给端来看，目前国内可以提供玻璃基板的供应商主要为南玻、洛玻、东旭集团、彩虹股份等。2013年我国玻璃基板年供给量不足900万平方米，且均为6代线及以下，而在8.5代线面板厂的玻璃基板供应方面，国内玻璃基板厂还未涉足，核心技术始终掌握在美国康宁（Corning）、旭硝子（AGC）、电气硝子（NEG）以及板硝子(NSG)四大厂商手中。目前，全球玻璃基板的主要生产厂商包括：② 靶材目前，日本能源、美国Umicore、日本三井、日本东曹等少数几家公司垄断了靶材80%的市场份额。日本企业生产的靶材以大尺寸、高性能占据着显示器中高端领域，主要以常压烧结法作为靶材主要生产方法，常压烧结法也是目前靶材生产的主流技术。全球靶材需求市场主要集中在日本、韩国、中国等亚洲国家，其中中国占到全球总需求的35%以上。受益于平板显示、触控屏等下游产业的快速发展，预计到2016年全球靶材需求将达到2,500吨左右，其中中国需求占比将超过40%。我国虽然是世界第一产铟大国，铟产量占世界产量的70%（原生铟），但是在深加工方面却处于初级阶段。为了突破技术和打破瓶颈，有效利用资源，近年来中国企业加快了靶材的技术研发和引进，建成了多项高端靶材国产化项目。目前，全球靶材的主要生产厂商包括：（5）ITO 导电膜玻璃未来发展趋势随着显示及触控技术的不断更新换代，特别是显示及触控技术应用的普及，使智能手机、平板电脑的市场容量逐年上升，ITO 导电膜玻璃的研发和生产工艺也随之不断进步。未来，ITO 导电膜玻璃主要有以下发展趋势：① 大尺寸化纵观 LCD 的发展，大尺寸化将是未来的发展趋势。为满足液晶面板厂商不断增加的大尺寸显示屏产品的开发，玻璃基板尺寸也在不断增加。玻璃基板尺寸越大，能够切割的面板数量就越多，可以切割的显示屏尺寸就越大。因此，随着玻璃基板的大尺寸化以及满足消费者需求的基础上，促使平板显示和触控屏向大尺寸化发展。此外，为顺应平板显示和触控屏的发展，对 ITO导电膜玻璃的镀膜技术提出了更高的要求。② 柔性化目前，应用最为广泛的 ITO 导电膜玻璃是在玻璃、陶瓷等硬质基材上制备，但这些基材存在质脆、不易变形等缺陷，限制了 ITO 导电膜玻璃的应用。与硬质基材 ITO 导电膜玻璃相比，在有机柔性基材上制备的 ITO 导电膜玻璃不仅具有相同的光电特性，而且还具有可弯曲、重量轻、不易破碎、便于运输等特点。因此，随着电子器件的“轻薄化”，必然会推动 ITO 导电膜的技术不断进步，向“柔性化”的方向发展。③ 轻薄化目前，ITO 导电膜玻璃的厚度主要在 0.3~1.1mm 之间。随着手机、平板电脑等电子消费品轻薄化的发展趋势，对玻璃基板的减薄需求也日益提高，同时，也带动着 ITO 导电膜玻璃技术的发展。轻薄化不仅减轻了手机和平板电脑等电子消费品的重量，也在一定程度上给产品的外观设计提供了更多的便利。（6）国内领军企业目前，国内主要领军企业包括芜湖长信科技股份有限公司、深圳莱宝高科技股份有限公司、安徽方兴科技股份有限公司、河南康耀电子股份有限公司、安徽立光电子材料股份有限公司等。本文由unima新材网综合整理●&●&●&●&●&●&
TA的最新馆藏透明导电膜玻璃_百度百科
透明导电膜玻璃
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透明导电膜（TCO）玻璃不仅具有导电性，同时具有透光性，具有广泛的应用前景。目前透明导电膜玻璃分为三种：ZnO基TCO薄膜、多元TCO薄膜、高迁移率TCO薄膜。
透明导电膜玻璃简介
透明导电膜玻璃，根据用户的不同需求，主要分为以下三种类型：
1)、ZnO基TCO薄膜：ZnO的光学禁带宽度约为3.2 eV，对可见光的透明性很好，Zn的蕴藏丰富，无毒，价格便宜，比ITO更容易蚀刻。因此，近十几年来，ZnO已成为TCO薄膜的热门研究材料，被期待成为平板显示器中ITO薄膜的替代材料。本项目的掺杂ZnO薄膜的性能已可以与ITO薄膜相比，并解决了大面积高速均匀成膜工艺等问题。
2)、多元TCO薄膜: 开发适合特殊用途的TCO薄膜，将各种TCO材料进行组合，制备出一些具有新特点的TCO薄膜。由TCO材料组合构成的多元TCO薄膜，可以通过改变组分而调整薄膜的电学、光学、化学和物理性质，从而获得单一TCO材料所不具备的性能，满足某些特殊场合的需要。
3)、高迁移率TCO薄膜：在吸收不是非常严重的情况下，TCO薄膜对可见光的吸收是随着自由载流子浓度的增大而增大，但随着载流子迁移率的增大而减小，TCO薄膜的透明区域波长上限主要由载流子浓度确定，随着它的增大而减小，故采用提高载流子迁移率的方法来降低TCO薄膜的电阻率不必牺牲其光学性能。对于电子器件或导线，载流子迁移率是确定其响应速度和功耗的主要因素之一。本项目也可提供一种IMO薄膜的透明导电膜技术，其可见光平均透射率(含1.2 mm厚玻璃基底)超过80%，电阻率低至1.7×10Ω.cm。
透明导电膜玻璃用途前景
目前，TCO 薄膜主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比，氧化物透明导电膜不仅导电性好，而且还像玻璃一样具有高的透明性，所以，可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。主要用途为：
1)、显示器件中的电极材料。如制作场致发光（EL）器件的电极，液晶显示器件（LCD）中的透明电极以及电致变色显示器件（ECD）中的电极等。
2)、防静电，防电磁屏蔽层。为了防止静电，必须使方阻小于109Ω。
3)、面发热体。SnO2薄膜的电热转换效率在90%以上，通电后立即产生热效应。
4)、热反射膜。SnO2和ITO薄膜在红外部分的反射率可达到80%以上。
5)、太阳能电池。（1）SIS异质结太阳能电池，（2）太阳能电池的减反射膜。
6)、薄膜电阻器。
7)、气敏传感器。现已能探测甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘。
8)、终端设备。用透明导电薄膜制作薄膜开关。
9)、汽车玻璃。
总之，氧化物透明导电薄膜用途十分广泛，除上面列举的一些用途外，还有一些其他的用途，如电阻照相，静电复印，光记录，磁记录，保护层等。这类材料的研制和开发日益受到人们的重视。
随着平板显示器的需求量越来越大以及对太阳能利用的需求不断增大，透明导电膜玻璃的需求将会越来越大。预计其市场在今后几年将达到近100亿元。
透明导电膜玻璃技术指标
主要技术指标及产品规格
光谱透过率：为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。为了提高转换效率，要求对可见光的高透过率Tavg&80%。
导电性能：TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素[1]
被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。
雾度：为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）来表示。雾度即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或混浊的外观。以漫射的光通量与透过材料的光通量之比的百分率表示。一般情况下，普通镀膜玻璃要求膜层表面越光滑越好，雾度越小越好，但光伏用TCO玻璃则要求有一定的光散射能力。
激光刻蚀性能：薄膜电池在制作过程中，需要将表面划分成多个长条状的电池组，这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此，TCO玻璃在镀半导体膜之前，必须要对表面的导电膜进行刻划，被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层，以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。
．百度百科． [引用日期]}