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旋转靶材描述里面有一个100%life有的靶材为60%life，这里的life是什么意思... 旋转靶材描述里面有一个100%life，有的靶材为60%life这里的life是什么意思？
如果有可能的话最可能的是靶材利用率，磁控旋转靶材一般在两头的位置磁场形成回路，磁场最强这样，磁控溅射聚集更多的自由电子形成较强的自维持放电现象。相对应的最容易溅射，溅射速率增强所以溅射速度较其他地方的溅射速率快，靶材消耗就快最后形成两端凹陷。
这样情况下凹陷部分靶材朂先用完，其他地方的靶材还没有用完所以便有了靶材利用率一说。普通的平面靶材的利用率一般是旋转靶材的1/2左右旋转靶材的利用率一般在60%左右。如果能达到100%的靶材利用率的除了改变磁场强度与什么有关的手段，就是改变靶材的结构
但是国内能达到100%的靶材利用率嘚好像没有，我老人家整的“狗骨头靶材”也只能说是接近100%希望楼主能把图片放上来看一眼，或者联系下我我的Q是：460的976的991。
当然有吹犇或者近似计算的成分但是除了寿命或者利用率的话，没法解释
首先肯定不是利用率，寿命的话应该跟工艺参数和使用时间有关跟靶材本身没关系吧
这里说的寿命是使用寿命，跟利用率一个意思
用靶材结构改变的方法，并且增加靶材内芯比如铜靶材内部支撑改为鈈锈钢，在不锈钢外面喷涂或者压合铜形成铜靶材而针对于铜来说利用率可近似达到达到100%，当然是用“狗骨头靶”的原理解决两端溅射速率较快的前提下。
回答问题可能不是特别对口部分题目不是特别详细，也没办法详细如果有疑问再追问或者联系我。
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