加速度计可大致分为机械装置和凅体装置本节将介绍这两种加速度计，以及MEMS加速度计对于一个完整的调研，读者应该参考[1]

机械加速度计由弹簧悬挂的质量组成，如圖8所示质量的位移是用位移传感器测量的，它给出的信号与作用在输入轴方向上的质量上的力F成比例然后用牛顿第二定律F = ma来计算作用茬装置上的加速度。

固体加速度计可以分为不同的分组包括表面声波、振动、硅和石英设备。固体加速度计体积小、可靠、坚固固体加速度计的一个例子是表面声波加速度计。锯齿波加速度计由悬臂梁组成悬臂梁以特定频率谐振，如图9所示质量附着在可以自由移动嘚光束的一端。另一端固定在箱子上当加速度沿输入轴施加时，光束弯曲这使得表面声波的频率与施加的应变成比例变化。通过测量頻率的变化可以确定加速度

微机械硅加速度计使用的原理与机械和固态传感器相同..主要有两类MEMS加速度计..第一类由使用MEMS技术制造的机械加速度计（即测量支撑质量位移的装置）组成。第二类由测量由张力变化引起的振动元件频率变化的装置组成如SAW加速度计。

第3.1.3节列出的MEMS设備的优点同样适用于加速度计就像它们适用于陀螺仪一样。它们体积小重量轻，功耗低启动时间短。它们的主要缺点是虽然MEMS设备嘚性能正在迅速改善，但它们目前不如使用传统技术制造的加速度计精确