石英玻璃价格长期照射紫外光是否变化

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紫外线杀菌器的维护保养与技术分析
  紫外线杀菌器的维护保养
  1、紫外线杀菌器使用的最佳条件为:水温:5℃-50℃相对温度:不大于93%(温度25℃时)电压:220&10V 50Hz 进入处理设备饮用水的水质,其1cm的透射率为95%-100%。如需要处理的水质低于国家标准时,如色度高于15度,浊度高于5度,含铁量高于0.3毫克/升,先采用其它净化和过滤等方法,使其净化达标后用紫外线杀菌设备。
  2、定期检查,确保紫外线灯的正常运行。紫外线灯应持续处于开启状态,反复开关会严重影响灯管的使用寿命。
紫外线杀菌器
  3、定期清洗:根据水质情况,紫外线灯管和石英玻璃套管需要定期清洗,用酒精棉球或纱布擦试灯管,去除石英玻璃套管上污垢并擦净,以免影响紫外线的透过率,而影响杀菌效果。
  4、灯管的更换:进口灯管连续使用9000小时,或一年之后,应更换紫外线灯管,以确保高杀菌率。更换灯管时,先将灯管电源插座拔掉,抽出灯管,再将擦净的新灯管小心地插入杀菌器内,装好密封圈,检查有无漏水现象,再插上电源。注意勿以手指触及新灯管的石英玻璃,否则会因污点影响杀菌效果。
紫外线杀菌器
  紫外线杀菌器的技术分析
  紫外线杀菌技术是利用紫外线照射物质,使物体表面的微生物细胞内核蛋白分子构造发生变化而引起死亡。由于紫外线穿透性差,一般情况下紫外照射主要用作食品工厂车间、设备、包装材料的表面以及水杀菌。另外紫外线照射也可以结合其它一些强氧化剂如臭氧、过氧化氢等处理来进行杀菌。近年来紫外线用于透明液体的杀菌获得发展,紫外线照射在果蔬汁中的应用也引起了重视。
紫外线杀菌器
  现代紫外消毒技术是基于现代防疫学、光学、数学、生物学及物理化学的基础上,利用特殊设计的高效率、高强度和长寿命的C波段紫外光发生装置产生的强紫外C光照射流水、空气或固体表面,当水、空气或固体表面中的各种细菌、病毒、寄生虫、水藻以及其他病原体受到一定剂量的紫外C光辐射后,其细胞中的DNA结构受到破坏,从而在不使用任何化学药物的情况下杀灭细菌、病毒以及其它致病体。达到了消毒和净化的目的。[发明专利]合成石英玻璃部件,光刻装置以及光刻装置的制造方法无效
申请/专利权人:
公开/公告号:CN1365343A
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【说明书】:
技术领域本发明涉及合成石英玻璃部件,光刻装置以及光刻装置的制造方法。更详细地讲,涉及在光刻技术中400nm以下,最好是300nm以下的特定波段中,透镜或者反光镜等在光学系统中使用的光刻装置用的合成石英玻璃部件,使用了这样的光学部件构成的光刻装置以及光刻装置的制造方法。背景技术以往,在硅等晶片上曝光·复制集成电路的微细图形的光刻技术中,使用成为分档器的光刻装置(投影曝光装置)。该分档器的光学系统由把光源的光均匀地照射在调制盘的照明光学系统,以及把形成在调制盘上的集成电路图形例如缩小为五分之一并投影到晶片上进行复制的投影光学系统构成。光刻装置的光源伴随近年来LS的高集成化正在从g线(436nm)向i线(365nm),进而向KrF(248.3nm)或者ArF(193.4nm)受激准分子激光器和短波长化发展。另外,与此相对应,要求能够进行更微细的最小加工线宽曝光的光刻装置。但是,在把波长区为紫外区,特别是250nm以下的区域的光用作为光源时,对应于比i线长的波长区的光而所制造的照明光学系统或者投影光学系统中使用的透镜材料中,光的透射性差而不实用。因此,这种情况下的照明光学系统或者投影光学系统中使用的透镜材料限定于光透射率大的石英玻璃或者一部分结晶材料。在把石英玻璃部件用于光刻装置的光学系统的情况下,为了在很大的面积上以高分辨率把集成电路图形进行曝光,要求非常高的品质。例如,如果部件的直径是比较大的200nm左右,则部件的折射率分布需要10-6级以下。另外,减少复折射率量,即要求减小部件的内部畸变,这一点对于提高折射率分布的均匀性,对于光学系统的分辨率十分重要。从而,即使仅是石英玻璃,在受激准分子激光器分档器那样把紫外光作为光源的光刻装置中使用的石英玻璃部件也受到相当大的限制。进而,在把紫外光作为光源的光刻装置中使用的石英玻璃部件中,在以上那些条件的基础上需要还具有高透射率(损失系数小)。这是因为在光刻装置的照明光学系统以及投影光学系统中,为了进行像差修正而设有非常多的透镜,各个透镜的光损失有可能使装置总体的透射率下降。石英玻璃除去通过熔化天然的水晶粉末而得到的熔融石英玻璃外,还有化学合成得到的合成石英玻璃,其中合成石英玻璃的金属杂质少,是高纯度,具有对于波长250nm以下的紫外光也具有高透射性的特征。另外,合成石英玻璃从其制造方法出发,可制造大口径并具有均匀性的部件。发明内容但是,即使是合成石英玻璃,如果作用高输出的紫外光或者受激准分子激光器光,则也存在着由被称为NBOHC(具有Non-Bridging OxygenHole Center,≡Si-O·的构造。)的构造缺陷引起的260nm吸收带或者被称为E’中心(具有≡Si·构造,但是≡不是表示3重结合而是表示与3个氧原子相结合,·表示不成对电子。)的构造缺陷引起的215nm的吸收带,紫外区的透射率显著地降低。由于这些吸收带中心波长在作为分档器的光源的KrF受激准分子激光器或者ArF受激准分子激光器的振荡波长附近,因此通过光吸收,光学系统的透射率显著地降低。有时215nm吸收带即使在紫外线照射总量少(照射能量低而且照射时间短)的情况下也将极大地产生。该吸收带通常由于在受激准分子激光器的照射初起阶段产生,因此把该吸收称为照射初期吸收。因而,合成石英玻璃的总体不一定能够用作为这样装置的透镜部件,为了良好地保持装置的实用性,需要照射初期吸收少的合成石英玻璃。至今为止,作为采用ArF受激准分子激光器的200nm以下波长光源的光刻装置中使用的光学部件所要求的特性,分别独立要求ArF受激准分子激光器光(波长193.4nm)在照射之前的损失系数小,或者照射初期吸收少,或者在长时间照射ArF受激准分子激光器光时透射率下降少(即,透射率的长期变动少),但是难以加工满足这些全部条件的石英玻璃部件,没有把使用了这样部件的ArF受激准分子激光器作为光源的光刻装置。本发明是鉴于以上的问题而产生的,目的在于提供提高把ArF受激准分子激光器作为光源的光刻装置的透射率,能够发挥充分的实用性的合成石英玻璃部件,使用了该玻璃部件的具有出色分辨率的光刻装置及其制造方法。本发明者们由于明确了石英玻璃产生的对于紫外光的初期照射吸收的原因,因此调查了石英玻璃的诸多物性与所产生的照射初期吸收大小的关联性。其结果,发现为了在石英玻璃中掺杂作为提高耐久性因子的氢而在还原气氛下进行合成时,在提供了高于需要的还原气氛的强还原气氛的场合,构成降低石英玻璃部件的透射率原因的构造缺陷即≡Si-H(通过低能量密度的紫外光照射容易切断,成为E’中心)在所生成的石英玻璃中大量地产生,即,氢分子含有量越多的石英玻璃其表现出大的照射初期吸收的倾向越强。同时还发现,在几乎不包含氢分子的石英玻璃中,通过长时间ArF受激准分子激光器的照射也将产生透射率降低。即,本发明的合成石英玻璃在还原气氛下的合成时,通过把石英玻璃的氢分子浓度取得适当的值,降低合成时所含有的≡Si-H浓度的同时,使得含有某种程度的氢分子,是一种与400nm以下波段的光一起使用的光刻装置中所使用的合成石英玻璃部件,其特征在于在用受激准分子激光器以0.1μJ/cm2·p~200mJ/cm2·p的能量密度进行了1×104脉冲照射时,照射后测定的193.4nm中的损失系数(即,照射初期吸收)是0.0050cm-1以下,所含有的氢分子浓度是1×1016分子/cm3~2×1018分子/cm3,而且,紫外光照射前的损失系数是0.0020cm-1以下。另外,本发明的光刻装置,是具有把400nm以下波长的光作为曝光光而出射的曝光光源,形成了图形原像的调制盘,把从曝光光源输出的光照射在调制盘上的照射光学系统,把从调制盘输出的图像投影到感光基板上的投影光学系统,以及进行调制盘与上述感光基板定位的对准系统,其特征在于构成照射光学系统的合成石英玻璃部件,构成投影光学系统的合成石英玻璃部件以及调制盘中的至少一部分(例如,实施形态中的准直透镜,蝇眼透镜(フライアイレンズ),聚光镜,投影透镜等)由具有以上特性的合成石英玻璃部件构成。通过用本发明的合成石英玻璃部件构成光刻装置(例如实施形态中的分档器1)的光学部件的一部分或者全部,即使在把光源采用为ArF受激准分子激光器的情况下也确保高透射率,发挥充分的实用性。另外,这样的合成石英玻璃部件所含有的氢分子浓度是1×1016分子/cm3~2×1018分子/cm3,而且紫外光照射前的损失系数是0.0020cm-1以下。如果氢分子浓度小于1×1016分子/cm3,则用ArF受激准分子激光器进行长时间照射时的透射率降低加大。另一方面,如果在氢分子浓度超过2×1018分子/cm3的条件下进行合成,则≡Si-H浓度升高,具有照射初期吸收增大的倾向,进而,氢分子浓度在石英玻璃中不均匀地存在。另外,使用紫外线照射前的损失系数超过0.0020cm-1的合成石英玻璃部件构成的光刻装置其总体的透射率(透过量)降低,另外,可以发现由照射激光时的部件的发热或者面形状的变化产生的分辨率的降低。进而,在用ArF受激准分子激光器以0.1μJ/cm2·p~200mJ/cm2·p能量密度进行1×104脉冲照射时,照射后测定的193.4nm中的损失系数(照射初期吸收)超过0.0050cm-1的合成石英玻璃部件伴随着激光器的ON/OFF的透射率的变动大,因此使用了这种玻璃部件的光刻装置的曝光量变动大。
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灯光有紫外线吗 灯光含紫外线吗?
相关解答一:钨灯光也含有紫外线? 您好,您说的所有灯都卟含紫外线和红外线,因为紫外线常常是用在杀菌作用上,医院里常备,一般家庭灯它是卟含紫外线的,红外线主要是用来传递某些信息的,例如遥控器就是最常见的一种,可以看到的!希望能够帮您解决问题!望采纳相关解答二:灯光中含紫外线吗 5分当然了,只不过紫外线的是电磁波谱中波长从0.01~0.40微米辐射的总称,不能引起人们的视觉。可见光的波长范围通常为380到780nm。不过灯光是一个比较笼统的概念,灯的种类不同,所发射的紫外线强度是不一样的如白炽灯,它所发出的就比较少,如果是日光灯 的话,那就相对来说多一些。打字不易,如满意,望采纳。相关解答三:灯光也有紫外线? 紫外线的分类:根据生物效应的不同,将紫外线按照波长划分为四个波段:UVA波段,波长320~400nm,又称为长波黑斑效应紫外线 。它有很强的穿透力,可以穿透大部分透明的玻璃以及塑料。日光中含有的长波紫外线 有超过98%能穿透臭氧层和云层到达地球表面,UVA可以直达 肌肤的真皮层,破坏弹性纤维和胶原蛋白纤维,将我们的皮肤晒黑。360nm波长的UVA紫外线符合昆虫类的趋光性反应曲线,可制作诱虫灯。300-420nm波长的UVA紫外线可透过完全截止可见光的特殊着色玻璃灯管,仅辐射出以365nm为中心的近紫外光,可用于矿石鉴定、舞台装饰、验钞等场所。UVB波段,波长275~320nm,又称为中波红斑效应紫外线 。中等穿透力,它的波长较短的部分会被透明玻璃吸收,日光中含有的中波紫外线大部分被臭氧层所吸收,只有不足2%能到达地球表面,在夏天和午后会特别强烈。UVB紫外线对人体具有红斑作用,能促进体内矿物质代谢和维生素D的形成,但长期或过量照射会令皮肤晒黑,并引起红肿脱皮。紫外线保健灯、植物生长灯发出的就是使用特殊透紫玻璃(不透过254nm以下的光)和峰值在300nm附近的荧光粉制成。UVC波段,波长200~275nm,又称为短波灭菌紫外线。它的穿透能力最弱,无法穿透大部分的透明玻璃及塑料。日光中含有的短波紫外线几乎被臭氧层完全吸收。短波紫外线对人体的伤害很大,短时间照射即可灼伤皮肤,长期或高强度照射还会造成皮肤癌。紫外线杀菌灯发出的就是UVC短波紫外线。UVD波段,波长100~200nm,又称为真空紫外线。紫外线的杀菌原理紫外线杀菌就是通过紫外线的照射,破坏及改变微生物的DNA(脱氧核糖核酸)结构,使细菌当即死亡或不能繁殖后代,达到杀菌的目的。真正具有杀菌作用的是UVC紫外线,因为C波段紫外线很易被生物体的DNA吸收,尤以253.7nm左右的紫外线最佳。紫外线杀菌属于纯物理消毒方法,具有简单便捷、广谱高效、无二次污染、便于管理和实现自动化等优点,随着各种新型设计的紫外线灯管的推出,紫外线杀菌的应用范围也不断在扩大。紫外线杀菌灯的结构紫外线杀菌灯(UV灯)实际上是属于一种低压汞灯,和普通日光灯一样,利用低压汞蒸汽(<10-2Pa)被激发后发射紫外线。不同的是日光灯的灯管采用的是普通玻璃,254nm紫外线不能透出来,只能被灯管内壁的荧光粉吸收后激发出可见光。如果改变荧光粉的成分和比例,它就可以发出我们通常所见的不同颜色的光。一般杀菌灯的灯管都采用石英玻璃制作,因为石英玻璃对紫外线各波段都有很高的透过率,达80%-90%,是做杀菌灯的最佳材料。杀菌灯有热阴极低压汞蒸气放电灯、冷阴极低压汞蒸气放电灯等几种结构,可按外型和功率分为多种类型。石英玻璃与普通玻璃在性能上有很大的差别,主要是热膨胀系数不同,一般不能封接铝盖灯头,所以杀菌灯的灯头材质多采用胶木、塑料或陶瓷。紫外线杀菌灯的灯管因成本关系与用途不同,也有用紫外线穿透率<50%的高硼砂玻璃管代替石英玻璃的。高硼玻璃的生产工艺与节能灯一样,因此成本很低,但它在性能上远比不上石英杀菌灯,其杀菌效果有相当大的差异。高硼灯管的紫外光强度很容易衰减,点灯数百小时后紫外线强度就大幅下降到初始时的50%-70%。而石英灯管在点燃小时后,紫外线强度只减到初始时的80%-70%,光衰程度远远小于高硼灯。还一种透紫外光较高的普通玻璃,比高硼玻璃要高得多,比石英玻璃略低。但光衰比石英杀菌灯大,并且不能产生臭氧。菲利......余下全文>>相关解答四:日光灯灯光中是否含有紫外线? 日光灯光线是含有紫外线的,但是强度比较弱,普通的紫外线强度测试仪都无法测量。日光灯的紫外线本身对眼睛的伤害不明显。但是对于一些紫外光敏感物质能起很大的影响。实际上日立有无紫外线日光灯管,经测试,也不是完全不含,但强度确实比普通日光灯弱很多。复合光都含有紫外线,但伤害不大,只要你不一直盯着日光灯看是没有问题的。相关解答五:做了时光宝石,里面的胶水要通过紫外线的照射才会干,快要下雨了,紫外线还照得到吗?如果照不到灯光中含 不会吧,普通的灯光里是没有紫外线的,可以去购买紫外线灯相关解答六:灯光里有紫外线吗? 一般的窗户玻璃可以吸收掉阳光中98%以上的紫外线。所以家用灯光的中紫外线都是微量的。日光灯光谱偏紫色,所以紫外线当量比白炽灯高。日光灯点亮时,灯管里面有大量的紫外线(查日光灯发光原理就知道)。医疗有用紫外消毒灯(当量很大,用于器械杀菌)。部分健身房中也有紫外灯(当量小,用于晒黑皮肤)相关解答七:什么灯光有紫外线? 当然可以!!!!!!!!但是如果我们日常的室内的灯光,只是最高100W,并没有阳光的紫 外线那么的强烈!!!也没有明星每天在摄影棚里面那么多灯光打着那么大的瓦数~~~所以说,平时我们室内的灯光对我们的皮肤影响不大~~~~不过。。。。在室内也是要涂防晒霜的。。因为紫外线可以穿透玻璃等~~~很可怕!有,哗光灯发出的光为冷光,色温较高,波长在400nm左右,属UVA长波紫外线的波长,但由于日光灯功率辐射很低,在安全辐射范围,所以不会造成大的伤害,你可用点指数较低的防晒霜,有备无患吗?相关解答八:验钞灯光是紫外线吗?、 1、抚钞机发出的蓝紫光里有紫外光2、里面发光的是紫外发光二级管,因为现在的技术还不能廉价的造出发射单一频率的光线的设备,所以现在都在 采用紫色波段发光设备,所以有可见光产生相关解答九:哪些灯光有紫外线? 家里的照明灯都有紫外线。但并没有阳光的紫 外线那么的强烈。在室内也是要涂防晒霜的。。因为紫外线可以穿透玻璃等~~~很可怕!有,日光灯发出的光为冷光,色温较高,波长在400nm左右,属UVA长波紫外线的波长,但由于日光灯功率辐射很低,在安全辐射范围,所以不会造成大的伤害,你可用点指数较低的防晒霜,有备无患吗?相关解答十:白天在室内没有太阳照射会有紫外线吗,灯光有紫外线吗 灯光没有紫外线, 除非是紫外线灯。室内还是有的, 就算没有太阳直接照射, 可是外面的太阳会照在窗户的玻璃上, 反射到人龚。 所以尽量把窗帘都拉起来吧!!百度搜索“就爱阅读”,专业资料,生活学习,尽在就爱阅读网,您的在线图书馆
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石英玻璃/环氧树脂/硅树脂对比实验:谁是高效可靠的紫外LED封装物料?
紫外LED 具体积小、寿命长和效率高等优点,具有广泛的应用前景。目前紫外LED 的发光功率不高,除了芯片制作水平的提高外,封装技术对LED 的特性也有重要的影响。
  OFweek网讯 紫外 具体积小、寿命长和效率高等优点,具有广泛的应用前景。目前紫外 的发光功率不高,除了芯片制作水平的提高外,封装技术对LED 的特性也有重要的影响。  目前,紫外LED 主要有环氧树脂封装和金属与玻璃透镜封装。前者主要应用于400 nm 左右的近紫外LED, 但紫外光对材料的老化影响较大。后者主要应用于波长小于380 nm 的紫外LED,由于GaN 和蓝宝石折射率分别为2.4和1.76,而气体折射率为1,较大的折射率差导致全反射对光的限制较为严重,封装后出光效率低。  封装材料是LED封装技术的另一个重要方面。LED封装材料主要有玻璃透镜、环氧树脂和硅树脂等。石英玻璃软化点温度为1 600℃,热加工温度为1 700~2000℃,从工艺的角度,石英玻璃不适合用来密封LED芯片;环氧树脂高温耐热性能一般,耐紫外光性能较差;硅树脂是近几年开始应用于LED 封装的材料,目前国内对硅树脂的透过率、耐热和耐紫外光特性研究较少,特别是对于硅树脂封装紫外LED 的特性还缺乏研究。  本文立足于波长小于380 nm 的紫外LED 的封装技术,对不同封装材料的透过率、耐紫外光和耐热性进行了对比,进而提出高出光效率、高可靠性的紫外LED 封装结构。  实验  采用的紫外光LED 芯片峰值波长有395 和375 nm 2种,分别由在碳化硅和蓝宝石衬底上外延生长GaN 制备而成。在20 mA 注入电流下,碳化硅和蓝宝石衬底的L ED芯片工作电压分别为3.8 和3.4 V。  研究了石英玻璃、环氧树脂和硅树脂具有代表性的5种不同型号的封装材料。石英玻璃是厚度为2 mm 的JGS1 型材料;环氧树脂A 和B 分别为双酚A 型和脂环族环氧树脂;硅树脂A 和B 分别是弹性硅胶和树脂型硅胶。  光功率和峰值波长系在杭州远方公司PMS-50增强型紫外-可见-近红外光谱分析系统上测量得到。光学透过率的测量系统如图1 所示,单色仪为江苏维信科技公司的CM200 型,灯源为天津拓普公司的GY-10高压球形氙灯,信号采集和处理系统采用的是远方公司的紫外-可见光分析系统。  采用材料的光学透过率随时间的变化来评估其热稳定性。样品厚度为2 mm,放置于烘箱中恒温老化,温度为150℃。
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一、自然界中的紫外线
紫外线是指波长在200nm~380nm之间的太阳光线,包括3类:UV-A波长为315nm~380nm,UV-B波长为280nm~315nm,UV-C波长200nm~280nm。到达地球表面的太阳光线(290nm—2000nm)中紫外线约占13%,其中UV-A占97%,UV-B占3%,UV-C接近于0。对人皮肤损伤的只有UV-A、UV-B。通过特殊工艺制成的UV-C紫外线灯,用来进行消毒灭菌。
二、、紫外线的分类:
根据生物效应的不同,将紫外线按照波长划分为四个波段:
UVA波段,波长320~400nm,又称为长波黑斑效应紫外线 。它有很强的穿透力,可以穿透大部分透明的玻璃以及塑料。日光中含有的长波紫外线 有超过98%能穿透臭氧层和云层到达地球表面,UVA可以直达 肌肤的真皮层,破坏弹性纤维和胶原蛋白纤维,将我们的皮肤晒黑。360nm波长的UVA紫外线符合昆虫类的趋光性反应曲线,可制作诱虫灯。300-420nm波长的UVA紫外线可透过完全截止可见光的特殊着色玻璃灯管,仅辐射出以365nm为中心的近紫外光,可用于矿石鉴定、舞台装饰、验钞等场所。
UVB波段,波长275~320nm,又称为中波红斑效应紫外线 。中等穿透力,它的波长较短的部分会被透明玻璃吸收,日光中含有的中波紫外线大部分被臭氧层所吸收,只有不足2%能到达地球表面,在夏天和午后会特别强烈。UVB紫外线对人体具有红斑作用,能促进体内矿物质代谢和维生素D的形成,但长期或过量照射会令皮肤晒黑,并引起红肿脱皮。紫外线保健灯、植物生长灯发出的就是使用特殊透紫玻璃(不透过254nm以下的光)和峰值在300nm附近的荧光粉制成。
UVC波段,波长200~275nm,又称为短波灭菌紫外线。它的穿透能力最弱,无法穿透大部分的透明玻璃及塑料。日光中含有的短波紫外线几乎被臭氧层完全吸收。短波紫外线对人体的伤害很大,短时间照射即可灼伤皮肤,长期或高强度照射还会造成皮肤癌。紫外线杀菌灯发出的就是UVC短波紫外线。
UVD波段,波长100~200nm,又称为真空紫外线。 &&&& 三、紫外线灭菌原理
&其中真正具有杀菌作用的是uv-C波紫外线,254nm左右的紫外线最佳。紫外线可以杀灭各种微生物,包括细菌繁殖体、芽胞、分支杆菌、病毒、真菌、立克次体和支原体等,具有广谱性。 &其杀菌原理是通过紫外线杀菌就是通过紫外线的照射,破坏及改变微生物的DNA(脱氧核糖核酸)结构,使细菌当即死亡或不能繁殖后代,达到杀菌的目的。真正具有杀菌作用的是UVC紫外线,因为C波段紫外线很易被生物体的DNA吸收,尤以253.7nm左右的紫外线最佳。 紫外线杀菌属于纯物理消毒方法,具有简单便捷、广谱高效、无二次污染、便于管理和实现自动化等优点,随着各种新型设计的紫外线灯管的推出,紫外线杀菌的应用范围也不断在扩大。
四、紫外线杀菌灯
1、紫外线杀菌灯的结构
紫外线杀菌灯(UV灯)实际上是属于一种低压汞灯,和普通日光灯一样,利用低压汞蒸汽(&10-2Pa)被激发后发射紫外线。不同的是日光灯的灯管采用的是普通玻璃,254nm紫外线不能透出来,只能被灯管内壁的荧光粉吸收后激发出可见光。如果改变荧光粉的成分和比例,它就可以发出我们通常所见的不同颜色的光。一般杀菌灯的灯管都采用石英玻璃制作,因为石英玻璃对紫外线各波段都有很高的透过率,达80%-90%,是做杀菌灯的最佳材料。 &&&& 杀菌灯有热阴极低压汞蒸气放电灯、冷阴极低压汞蒸气放电灯等几种结构,可按外型和功率分为多种类型。 &&& 石英玻璃与普通玻璃在性能上有很大的差别,主要是热膨胀系数不同,一般不能封接铝盖灯头,所以杀菌灯的灯头材质多采用胶木、塑料或陶瓷。 &&& 2、紫外线杀菌灯的灯管 &&& 因成本关系与用途不同,也有用紫外线穿透率<50%的高硼砂玻璃管代替石英玻璃的。高硼玻璃的生产工艺与节能灯一样,因此成本很低,但它在性能上远比不上石英杀菌灯,其杀菌效果有相当大的差异。 &&&& 高硼灯管的紫外光强度很容易衰减,点灯数百小时后紫外线强度就大幅下降到初始时的50%-70%。而石英灯管在点燃小时后,紫外线强度只减到初始时的80%-70%,光衰程度远远小于高硼灯。 &&&& 还一种透紫外光较高的普通玻璃,比高硼玻璃要高得多,比石英玻璃略低。但光衰比石英杀菌灯大,并且不能产生臭氧。菲利浦生产的一种杀菌灯上的灯管就使用这种玻璃制作。 &&&& 紫外线杀菌灯的发光谱线主要有254nm和185nm两条。254nm紫外线通过照射微生物的DNA来杀灭细菌,185nm紫外线可将空气中的O2变成O3(臭氧),臭氧具有强氧化作用,可有效地杀灭细菌,臭氧的弥散性恰好可弥补由于紫外线只沿直线传播、消毒有死角的缺点。 &&&& 石英玻璃在炼制的时候,如果添加足够数量的钛(Ti)元素,就能使透过它的紫外线在200nm以下发生截止,而对254nm紫外线透过基本无影响。适当控制钛元素的添加量,就可有效的控制185nm紫外线的逸出量。根据这一特点, 我们可以制作低臭氧(无臭氧)、臭氧、高臭氧等三种紫外线杀菌灯管。石英紫外线灯具有优势,那么,如何识别真假。不同波段的紫外线杀菌能力不同,只有短波紫外线(200-300nm)才能对细菌有杀灭能力,其中在250-270nm范围杀菌力最强,不同材料制造的紫外线灯成本和性能也不一样。真正高强度、长寿命的紫外线灯必需是采用石英玻璃制造,这种灯也叫石英杀菌灯,它分两种类型:高臭氧型和低臭氧型,在消毒柜一般采用高臭氧型,这也是石英紫外线灯相对其他紫外线灯的一个显著特点,此外,它产生的紫外线强度高,是高硼灯的1.5倍以上,并且,紫外线辐射强度寿命长。最可靠的分辨方法是用紫外线辐照度计254 nm探头来测,同样功率,254 nm紫外线强度最高的是石英紫外线灯。其次是高硼玻璃紫外线灯,高硼玻璃灯紫外光强度很容易衰减,它点灯数百小时后其紫外光强度就大幅下降,降到初始时的50%-70%。在用户手上,虽然看到灯管还是亮的,但它可能已不起作用了。而石英玻璃的光衰减程度要远小于高硼灯。涂了荧光粉的灯管,不管是用何种玻璃制造都不可能发出短波紫外线,更不可能产生臭氧,因为经荧光粉转换发出的谱线,波长最短为300 nm附近,在消毒\柜里经常能看到的是灭蚊灯,只能产生365nm谱线和一部分蓝色光,它的功能除了能把蚊子吸引过来之外,是根本没有消毒作用的。----高硼玻璃紫外线灯和石英紫外线灯在外观上比,石英紫外线灯一般不能装铝盖灯头,灯头材质用塑料,胶木或陶瓷,灯头外径要比玻璃管粗;高硼玻璃都可采用自动化程度较高的圆封的生产工艺,其工艺与日光灯生产一样,可用铝灯头。 &&&& ----石英玻璃熔点高,膨胀系数低,如果同时放在火中加热,高硼玻璃熔点低。加温后同时放在水中急冷,不会碎裂的是石英玻璃。对于一些使用普通玻璃管制造的所谓"紫外线灯",这种灯是不含紫外线的,用一个简单的方法测试:把这种灯在节能灯或日光灯旁边点亮,它不能激化管内荧光粉发光,就可证实它是名符其实的假冒伪劣产品。&&&& 五、紫外线杀菌灯的应用 & &&&1.每一种微生物都有其特定紫外线杀灭、死亡剂量标准,其剂量是照射强度与照射时间的乘积(杀菌剂量=照射强度·照射时间/K=I·t),即紫外线的照射剂量则取决于紫外线的强度大小以及照射时间的长短,高强度短时间与低强度长时间之照射其效果是相同的。 &&&& 2.石英灯管使用一段时间后会逐渐老化,紫外线照射强度会发生衰退,为达到彻底消毒的效果,应定期检查测石英灯的照射强度,发现强度不够时应立即更换。 &&&& 3.紫外线的只能沿直线传播,穿透能力弱,任何纸片、铅玻璃、塑料都会大幅降低照射强度。因此消毒时尽量应使消毒部位充分暴露于紫外线下,定期擦拭灯管,以免影响紫外线穿透率及照射强度。 &&&& 4.紫外线对人体的的皮肤能产生很大的伤害性,不要在有人的场所使用UV灯,更不要用眼睛直视点燃的灯管,由于短波紫外线不能透过普通玻璃,所以戴眼镜可避免眼睛受伤害。 &&&& 5.在有人员活动的场所,一般不能使用臭氧灯管,因为臭氧会促进人体的血红蛋白凝结,造成人体供氧不足,发生头晕、恶心的感觉,影响身体健康,特别在臭氧浓度达到>0.3ppm (mg/m2 )时,将会对人体造成严重的伤害。 &&&&& 6.低压放电灯中之紫蓝色光芒为汞蒸气压,虽然汞蒸气压的强度与紫外线仍然有其关联性,但是并不直接代表紫外线之强度,这也就是说,紫外线的强度无法用肉眼来判定。 &&&& 7.灯具加反光罩可以保证紫外线能量的集中,另外可以避免给工作人员造成损伤。反光罩一定要用对253.7nm紫外线材料吸引少反射多的材料制作,表面氧化抛光处理过的铝对短波紫外线的反射系数最大,所以一般紫外线灯具的反光系统均用铝材制成。 &&&& 五、紫外线杀菌灯存在的问题 &&&& 1、工艺特殊,制造困难,价格较高。由于石英玻璃的特殊性质,使得杀菌灯的生产不能规模化,造成石英杀菌灯的成本较高,阻碍它的进一步推广运用。 &&&& 2、光衰较大,寿命不长。紫外线杀菌灯点燃数百小时后,它的紫外光强度衰减很快,最高达到30%,杀菌效果大大减弱。另外,加工中造成的阴极损伤也影响了紫外线杀菌灯的寿命。由于紫外线杀菌灯的光衰与荧光灯光衰在机理上不完全相同,所以这一问题还有待各方努力解决。 &&& 3.由于灯丝及阴极材料不同, 与T8、T5荧光灯同功率的UV灯管,也不能用相同的镇流器驱动。
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很具体,实用!谢楼主了!
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谢谢myb先生将很多基本的知识在论坛上发表,希望论坛的新手能够扎扎实实地加强基础知识的学习,磨刀不误砍柴工
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学习了,谢谢,精辟。。。。。。。。
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谢谢楼主的教导,这对于我们新人很大的帮助,以前我只知紫外线灯灭菌,不知应该买石英灯还是普通的紫外线灯了。
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