微波等离子体--《科学》1999年03期
微波等离子体
【摘要】：正 据国家自然科学基金委员会日报道,由中国科学院院士刘盛钢教授主持,核工业西南物理研究所、中国科学院等离子体物理研究所、大连理工大学和中国科学技术大学共同参加的国家自然科学基金"八五"重大项目——微波等离子体及其应用基础研究,经过研究人员5年的努力,取得了创造性成果,现已在成都通过由国家自然科学基金委员会组织的专家组验收。
【关键词】：
【分类号】：G322【正文快照】：
据国家自然科学基金委员会日报道,由中国科学院院士刘盛钢教授主持,核工业西南物理研究所、中国科学院等离子体物理研究所、大连理工大学和中国科学技术大学共同参加的国家自然科学基金“八五”重大项目—徽波等离子体及其应用荃础研究,经过研究人员5年的努力,取
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微波和等离子体.ppt89页
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波 1 概念 微波与无线电波、红外线、可见光一样都是电磁波，微波是指频率为300MHz-300KMHz的电磁波，即波长在1米到1毫米之间的电磁波。是分米波、厘米波、毫米波和亚毫米波的统称。微波频率比一般的无线电波频率高，通常也称为“超高频电磁波 ”。 2
微波的产生 微波通常由直流电或50Hz交流电通过一特殊的器件来获得。 产生微波的器件有许多种，但主要分为两大类：半导体器件和电真空器件。电真空器件是利用电子在真空中运动来完成能量变换的器件，或称之为电子管。在电真空器件中能产生大功率微波能量的有磁控管、多腔速调管、微波三、四极管、行波管等。在目前微波加热领域特别是工业应用中使用的主要是磁控管及速调管。
微波的性质 微波的基本性质通常呈现为穿透、反射、吸收三个特性。 而从电子学和物理学观点来看，微波具有不同于其他波段的如下重要特点：
3.1 穿透性 穿透能力就是电磁波穿入到介质内部的本领，电磁波从介质的表面进入并在其内部传播时，由于能量不断被吸收并转化为热能，它所携带的能量就随着深入介质表面的距离，以指数形式衰减。微波比其它用于辐射加热的电磁波，如红外线、远红外线等波长更长，因此具有更好的穿透性。
3.2 热惯性小 微波对介质材料是瞬时加热升温，能耗也很低。另一方面，微波的输出功率随时可调，介质温度升高可无惰性的随之改变，不存在“余热”现象，极有利于自动控制和连续化生产的需要。 3.3 选择性加热
加热原理： 根据物质对微波的吸收程度,可将物质材料分成导体、绝缘体和介质。微波不能进入导体内部,只能在其表面反射。绝缘体可透过微波而对微波吸收很少。 介质可透过并吸收微波,介质
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微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理
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