基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究.pdf

基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究.pdf,由于受到驱动器PZT (PbZrTiO3) 非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM) 探针在任务空间的位置存在不确定性这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性, 实现AFM探针的精确定位成为亟待解决的问题。针对此問题, 提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性,通过建立探针运动模型, 结合基于局部扫描的观测模型, 采用Kalman滤波对探针位置进行最优估算针对算法的实现, 设计了模型参数标定方案。通过仿真和实验的结果验证了算法的有效性与可行性,实现了探针在任务空间中的精确定位,提高了纳米操作