哈尔滨工业大学工程硕士学位论攵

1.1课题研究的背景和意义 (1)

1.2.1基于AFM微纳结构加工技术研究现状 (2)

1.2.2基于AFM探针机械刻划加工技术研究现状 (2)

1.2.3基于AFM探针与工作台结合机械刻划加工技术研究现状 (5)

1.3本课题的主要研究内容 (7)

第2章加工方向对探针刻划加工影响及消除方法研究 (8)

2.2.1探针刻划加工装置及实验条件 (8)

2.3探针不同刻划方向对加工结果影响研究 (11)

2.3.1探针不同刻划方向加工实验过程 (11)

2.3.2采用探针不同刻划方向的加工实验 (12)

2.4采用相同刻划方向的加工方法 (14)

2.4.2探针相同刻划方向加工方法原悝 (15)

2.5采用相同刻划方向加工实验研究 (21)

第3章基于探针轨迹变化的复杂微阶梯结构加工方法研究 (27)

3.2基于探针轨迹变化的阵列微结构加工技术 (27)

3.2.1利用探針轨迹变化加工阵列微结构的原理 (27)