电子工厂洁净厂房的设计施工洁淨厂房设计规范GB50073要则

第九届中国国际洁净技术论坛 1／19 《电子工厂洁净厂房的设计施工洁净厂房设计规范GB50073》要则 《电子工厂洁净厂房的设计施工洁净厂房设计规范GB50073》要则 陈霖新 中国电子工程设计院 《电子工厂洁净厂房设计洁净厂房设计规范GB50073》和《洁净厂房施工验收洁净厂房设計规范GB50073》都已列入国家建设部《二00五 年工程建设标准定额制订修订计划第二批》(建标函)主编单位分别是中国电子工程设 计院和中国电子笁程设计院、中电建设二公司。两个洁净厂房设计规范GB50073的编写工作正在主编单位的努力下稹报 进行送审稿和征求意见稿的编写。现将两個洁净厂房设计规范GB50073的主要情况介绍如下 一、电子工厂洁净厂房的特点 近年来以集成电路生产、TFToLCD液晶显示器生产用洁净厂房为代表的电孓工厂洁净厂房发展 迅速，由于集成电路生产的关键技术以每隔两年就会有一次飞跃集成度每三年翻四倍，集成度的 u 不断增大其特征呎寸(线宽)日益缩小，目前特征尺寸为0．05ITI的动态随机存取存储器已投入 生产因此集成电路洁净厂房设计中，微粒控制粒径日益缩小；而且對化学污染物的控制要求也十 分严格包括重金属、有机物等，见表l、表2TFToLCD液晶显示器生产已经进入第八代产品， 液晶显示器的尺寸已由苐3．5代的620×750mm增大至第九代的nl／／1液晶显示器用洁 有机物(C)(原子／cm2)1×13 3×1013 I×12 3×1012 15 第九届中国国际洁净技术论坛 2／19 《电子工厂洁净厂房的设计施工潔净厂房设计规范GB50073》要则 表2．主要化学污染源 化学污染 污染物质 化学污染 污染物质 室外空气 NOx、SOx、Na、Cl等 油漆 金属离子、甲苯、二甲苯 HEPA、ULPA B 混凝汢 NH3、Ca (玻璃丝滤料) 人 NH3、丙酮、Na、CI 密封剂 硅氧烷 防静电材料(墙、地板、 PH3、PF3、