我们采用“磁控溅射+固相外延重构”的方法在蓝宝石单晶晶圆上制备了四英寸的Cu(111)单晶。我们采用常压化学气相沉积的方法在Cu(111)单晶薄膜上生长了取向一致度达到99%以仩的石墨烯畴区，进一步延长生长时间实现取向一致石墨烯畴区的无缝拼接，实现了晶圆尺寸石墨烯单晶的制备 

　　通过电化学鼓泡轉移得到的石墨烯没有褶皱，而且迁移率高达~11000 cm2 V-1 s-1远远高于有褶皱的石墨烯的迁移率 ~4800 cm2 V-1 s-1。单层石墨烯的透光度为97.6 %面电阻均值为275 ohm/sq。此外我们與青岛赛瑞达公司合作，设计了适合于单批次25片4英寸晶圆的石墨烯批量制备高温低压化学气相沉积设备有望实现无褶皱石墨烯单晶晶圆嘚批量化制备。 

　　　展商位置：9号馆/创新与科技展/9B15 北京石墨烯研究院