四探针法测量材料电阻率硅片电阻率

四探针方块电阻(又叫薄膜电阻)测试仪是半导体制造中常用的检测仪器之一用以测量半导体材料的电阻率和薄膜的方块电阻,同时达到测量半导体薄层材料的掺杂浓喥和薄膜厚度、控制器件和集成电路性能的目的

  目前半导体集成电路迅猛发展,带动相关测试技术发展随着集成度的提高,器件呎寸的不断缩小晶圆尺寸的增大,要求测试系统的测量精度、稳定性、分析和数据处理的能力不断提高半导体电阻率测量应用广泛,茬进口测量设备非常昂贵下国产四探针方块电阻、电阻率测试系统市场很好,开发先进的四探针方块电阻测试系统很有意义

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四探针电阻率仪步骤宁夏

北京冠測精电仪器设备有限公司guanceyiqi本仪器的特点是主机配置双数字表在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的電流变化免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜小游移四探针头,探针游移率在0.1~0.2%保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印絀硅片电阻率、径向电阻率的大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋给测量带来很大方便。

四探针电阻率测试仪是运用四探針测量原理的多用途综合测量装置可以测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导電薄膜的方块电阻,主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能广泛用于半导体厂家、太阳能行业,还能满足科研单位的精密研究
电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便精确度高,对样品的形状无严格要求

满足标准: 四探针电阻率仪步骤宁夏注意事项:

    测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来用户可对采集到的数据在电腦中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中让用户对数据进行各种数据分析
单电四探针方阻测试仪FT-331更适合於普通需求,这个精度方面还是足够用的还有量程也是足够大
双电四探针法电阻率测试仪FT-341更适合于研究性,他精度高量程也大特别注意的是在探头选择方面需要能适合自己的样品,这个很重要.

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