SECS GEM/GEM通讯协议

点击联系发帖人 时间：2019-05-15 15:53
GEM

DMS SECS GEM/GEM通讯软件工具包提供设备端SDK和连接工具DMS用于全自动化的无人化设备与工厂之间通讯

装有晶圆的300毫米载体太重，不能重复手动提升装有晶圆的300毫米载体太重不能重复手動提升

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