扫描电镜（SEM/EDS）
主题：【求助】求助，日立SU8010分子泵噪音原因。
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Insp_531ef0a0
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发表于： 11:53:32
前几天使用的好好的，昨儿下午突然发出 类似耳鸣的噪音，声音不大，刺耳，但是可以正常使用，厂家工程师不在现场没法判断具体原因，各位老师有知道的吗，求解决方法。
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1.有漏气现象，伴随真空状态不好，声音不会刺耳。2.分子泵轴承磨损，随着磨损加剧声音会越来越大你这多半是第二种状况，可能需要更换轴承或者泵体。
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原文由 磨剪子嘞& 锵菜刀(amoslau) 发表:1.有漏气现象，伴随真空状态不好，声音不会刺耳。2.分子泵轴承磨损，随着磨损加剧声音会越来越大你这多半是第二种状况，可能需要更换轴承或者泵体。分子泵正常运转会有轻微啸叫，是正常的，声音刺耳就要多留意了。
Insp_531ef0a0
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原文由 磨剪子嘞& 锵菜刀(amoslau) 发表:分子泵正常运转会有轻微啸叫，是正常的，声音刺耳就要多留意了。 今天又出现了类似电机运转的声音，两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗，机器才刚使用2个月。
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原文由 Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 今天又出现了类似电机运转的声音，两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗，机器才刚使用2个月。 两米能听见不代表就刺耳。跟人的听力和所处环境都有关系。直接联系厂商咨询一下
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原文由 风云变幻(v3165605) 发表: 两米能听见不代表就刺耳。跟人的听力和所处环境都有关系。直接联系厂商咨询一下 昨天只有“滋滋”的噪音，今天又多了一种电机的运转声，但是面板上显示TMP正常，也没有报警，但总感觉哪儿不对。
lihong7178
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先观察几天，如果噪声越来越大，可以考虑关机，等分子泵停下来，然后再开机。
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原文由 Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 昨天只有“滋滋”的噪音，今天又多了一种电机的运转声，但是面板上显示TMP正常，也没有报警，但总感觉哪儿不对。 温度变化引起的正常反应， 电机运转声音应该是散热风扇启动的声音。没啥事
17:54:45 Last edit by SH103843
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原文由 Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 今天又出现了类似电机运转的声音，两米外都能听见。请问分子泵真的出问题了吗，机器才刚使用2个月。两米以外能听见，这个声音有点大了。1.涡轮分子泵刚启动，开始抽取高真空的工作状态时，也就是从较低转速加速到高转速的时候，高速的转子叶片与空气摩擦，会有声音增加，有明显高频啸叫，随着真空越高声音渐小，最后就剩下正常运转轻微的高频噪声。(如果有“漏气”，泵的负载会增加，声音会更明显。当然如果漏气抽取真空的时间会超时，整个真空系统达不到较高的极限真空。如果极限真空状态良好基本可以排除漏气现象)2.如果声音来自分子泵本身的话，会有上述这样一个变化，如果来自散热风扇或者分子泵驱动电源(有故障的电源内会有变压器高频噪音，翁嗡嗡滋滋滋的那种，偏像震动的不是口哨声)又是另外一回事，分子泵转速远远高于散热风扇，可以仔细体会一下这个声音是否属于高频噪音。3.设备刚运转两个月在免费质保范围内，可要求售后检测，出保之前及早解决。
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原文由 Insp_531ef0a0(Insp_531ef0a0) 发表: 昨天只有“滋滋”的噪音，今天又多了一种电机的运转声，但是面板上显示TMP正常，也没有报警，但总感觉哪儿不对。一般设备检测分子泵运转状态就两个基本参数，1.是否超温，2.是否达到预定转速(50%、80%转速达成)。不超温，转速够，tmp就OK.
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原文由 磨剪子嘞& 锵菜刀(amoslau) 发表:一般设备检测分子泵运转状态就两个基本参数，1.是否超温，2.是否达到预定转速(50%、80%转速达成)。不超温，转速够，tmp就OK. 感谢您的帮助，公司已联系厂商工程师过来鉴定和调试}