【摘要】:多晶硅生产企业在生產多晶硅原料过程中会产生大量含氯硅烷、氢气、氯化氢有毒吗等污染物的尾气,目前处理方法主要采用淋洗塔喷淋去除大部分污染物后高涳排放由于处理方法的不完善等原因,导致现场工作环境差、污染严重,在此介绍了一种安全、卫生、环保的处理方法,为多晶硅企业实现零排放目标提供了新的途径。
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